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查看更多2019年4月3日 本发明属于机械研磨抛光加工技术领域,涉及一种减小机械研磨抛光塌边现象的方法。背景技术机械研磨和抛光工艺是获得局部和全局平坦化的最有效办法之一,在硬脆材料、金属材料的平面构件加工中应 一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法与流程2019年4月3日 本发明属于机械研磨抛光加工技术领域,涉及一种减小机械研磨抛光塌边现象的方法。背景技术机械研磨和抛光工艺是获得局部和全局平坦化的最有效办法之一,在硬脆材料、金属材料的平面构件加工中应
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查看更多但是在双面研磨抛光加工中工件存在"塌边现象",这导致工件的表面平整度变差。本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。 关 键 词: 双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究 Research on the ...但是在双面研磨抛光加工中工件存在"塌边现象",这导致工件的表面平整度变差。本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。 关 键 词:
查看更多2019年4月17日 第六步,对工件进行双面研磨,研磨时间为第五步中计算的时间,研磨过程中,塌边区域4即边缘以内的4mm 环带时刻有区域完全露出。第七步,测量形貌数据中,发现边缘效应得到抑制。图1为抑制边缘效应方法的流程图;图2和图3为本实施例中 ... 一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法与流程2019年4月17日 第六步,对工件进行双面研磨,研磨时间为第五步中计算的时间,研磨过程中,塌边区域4即边缘以内的4mm 环带时刻有区域完全露出。第七步,测量形貌数据中,发现边缘效应得到抑制。图1为抑制边缘效应方法的流程图;图2和图3为本实施例中 ...
查看更多一、抛光压力不均匀. 抛光塌边的原因之一是抛光压力不均匀。. 在抛光过程中,如果使用的抛光机械设备或手动操作不当,容易造成抛光压力在不同部位不均匀分布。. 这会导致一些部位的金属被过度抛光,而其他部位则未能得到足够的抛光,从而形成塌边现象 ... 抛光塌边产生的原因 - 百度文库一、抛光压力不均匀. 抛光塌边的原因之一是抛光压力不均匀。. 在抛光过程中,如果使用的抛光机械设备或手动操作不当,容易造成抛光压力在不同部位不均匀分布。. 这会导致一些部位的金属被过度抛光,而其他部位则未能得到足够的抛光,从而形成塌边现象 ...
查看更多2021年8月26日 在晶圆研磨过程中,会有许多造成晶圆破碎的因素存在,如何减小破损产生的机率,需要从现象出发去寻找原因。. 晶圆破碎的几种形式. 1、沿磨痕方向碎裂。. “磨痕”指的就是晶圆片背面的磨痕。. 这种类型的破损发生在这个磨痕上。. 2、沿晶圆纹路碎裂 ... 晶圆研磨过程中发生破损问题的分析与解决方法 技术分享 ...2021年8月26日 在晶圆研磨过程中,会有许多造成晶圆破碎的因素存在,如何减小破损产生的机率,需要从现象出发去寻找原因。. 晶圆破碎的几种形式. 1、沿磨痕方向碎裂。. “磨痕”指的就是晶圆片背面的磨痕。. 这种类型的破损发生在这个磨痕上。. 2、沿晶圆纹路碎裂 ...
查看更多“双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究”出自《新技术新工艺》期刊2010年第2 期文献,主题关键词涉及有平整度、双面研磨抛光、形状精度、塌边等。钛学术提供该文献下载服务。 钛学术 文献服务平台 学术出版新技术应用与公共服务实验室出品 ... 双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究 - 钛学术文献服务平台“双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究”出自《新技术新工艺》期刊2010年第2 期文献,主题关键词涉及有平整度、双面研磨抛光、形状精度、塌边等。钛学术提供该文献下载服务。 钛学术 文献服务平台 学术出版新技术应用与公共服务实验室出品 ...
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查看更多下研磨盘涂抹人造 金刚石研磨膏,并用蒸馏水稀释,在研磨过程中工件中心的研磨膏不断地被挤出来,最终导致四周低中间高的“塌边”现象。 由 Veeco RTI6100激光干涉仪测得塌边量达5.87µm,而且研磨时间越长塌边越严重。 超精密平面研磨机应用领域_百度文库下研磨盘涂抹人造 金刚石研磨膏,并用蒸馏水稀释,在研磨过程中工件中心的研磨膏不断地被挤出来,最终导致四周低中间高的“塌边”现象。 由 Veeco RTI6100激光干涉仪测得塌边量达5.87µm,而且研磨时间越长塌边越严重。
查看更多2019年4月16日 本发明属于机械研磨抛光加工技术领域,提供一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法,在研磨盘装夹之后对其进行修整,将内外圈修整为有坡度的表面,从而控制边缘部分的材料去除,实现减小塌边的目的。. 具体步骤为:首先,将平面零件在修整好的 ... 一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法_百度文库2019年4月16日 本发明属于机械研磨抛光加工技术领域,提供一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法,在研磨盘装夹之后对其进行修整,将内外圈修整为有坡度的表面,从而控制边缘部分的材料去除,实现减小塌边的目的。. 具体步骤为:首先,将平面零件在修整好的 ...
查看更多2020年5月12日 1 引言. 大口径高精度光学元件在空间光学、高功率激光装置中有广泛应用,环 形抛光(以 下简称“环 抛”)因去除效率高和全频谱收敛而成为加工大口径光学元件的重要方式之一. 目前,采用环抛加工大口径光学元件很大程度上仍依赖于操作人员的经验,缺乏有效的 ... 环形抛光中方形元件塌角控制方法的理论分析2020年5月12日 1 引言. 大口径高精度光学元件在空间光学、高功率激光装置中有广泛应用,环 形抛光(以 下简称“环 抛”)因去除效率高和全频谱收敛而成为加工大口径光学元件的重要方式之一. 目前,采用环抛加工大口径光学元件很大程度上仍依赖于操作人员的经验,缺乏有效的 ...
查看更多2023年11月17日 本技术涉及工装治具,尤其涉及一种防塌边平面研磨 工装。背景技术: 1、随着生活质量的不断提高,人们对电子产品的要求也在不断提高,其中不仅有功能上的要求,还有在外观上的要求。现有技术中,部分电子产品会存在盖板类的零件,为 ... 一种防塌边平面研磨工装的制作方法 - X技术网2023年11月17日 本技术涉及工装治具,尤其涉及一种防塌边平面研磨 工装。背景技术: 1、随着生活质量的不断提高,人们对电子产品的要求也在不断提高,其中不仅有功能上的要求,还有在外观上的要求。现有技术中,部分电子产品会存在盖板类的零件,为 ...
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查看更多2014年11月29日 好像快刀、钝刀同时砍柴,导致工件表面坑坑洼洼,平面度和粗糙度显然不符合设计要求。在研磨过程中,由于受到磨削热的影响,发现余量设计得过大的工件,“塌边”现象较多并且平面度超差现象也较多。显然,研磨余量的增大,其结果只能增加废品率。 高精度平面工件精密研磨技术2014年11月29日 好像快刀、钝刀同时砍柴,导致工件表面坑坑洼洼,平面度和粗糙度显然不符合设计要求。在研磨过程中,由于受到磨削热的影响,发现余量设计得过大的工件,“塌边”现象较多并且平面度超差现象也较多。显然,研磨余量的增大,其结果只能增加废品率。
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